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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
該套CVD系統(tǒng)主要由：材料加熱、真空獲取、氣體測(cè)量和等離子發(fā)生器四大部分構(gòu)成?？梢詽M足日常的大多數(shù)CVD實(shí)驗(yàn)和各種科研要求。該CVD系統(tǒng)是材料制備過程中的理想之選。
詳情介紹：
○ 產(chǎn)品介紹
一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊，使用方便。特別是豐富的圖文界面，即使您是**次操作，該系統(tǒng)也能順利引導(dǎo)您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作，您根本無需專業(yè)學(xué)習(xí)，為您節(jié)省大量的科研時(shí)間，真正做到事倍功半！
○ 適用范圍
可以滿足日常的大多數(shù)CVD實(shí)驗(yàn)和各種科研要求。是材料制備過程中的理想之選。
○ 產(chǎn)品特點(diǎn)
1、豐富的圖文信息：全尺寸液晶圖文界面
2、系統(tǒng)高度集成：各個(gè)部分均由軟件協(xié)同進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出
3、可使實(shí)驗(yàn)步驟程序化、自動(dòng)化
○ 技術(shù)參數(shù)
工作電壓：AC220/AC110V
工作頻率：50Hz/60hz
工作溫度：25℃～1100℃
測(cè)量精度：0.1℃
控溫精度：±1℃
加熱區(qū)長(zhǎng)：400mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)：200mm
射頻頻率：13.56MHz
射頻功率：0～500W（可調(diào)節(jié)）
匹配模式：自動(dòng)匹配
氣體通道：3通道
氣體測(cè)量：質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍：0～500SCCM
真空設(shè)備：分子泵組
真空測(cè)量：復(fù)合真空計(jì)
○ 免責(zé)聲明
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